早在二戰時期，出于軍事的需要，電液伺服閥首先出現在飛機的控制系統上。伺服閥的高成本、對流體介質清潔度的苛刻要求及維護的困難，使其成為電液伺服技術推廣民用化的障礙。

伺服比例閥是比例技術和伺服技術結合的產物，早期出現的比例伺服閥，由于其關鍵的電一機轉換器仍然是zui大控制電流僅幾十毫安的力電動機或力矩電動機，仍屬于伺服閥的范疇，也稱之為工業伺服閥。

電液伺服比例是一種性能和價格介于伺服閥和普通比例閥之間的控制閥，它具有傳統比例閥的特征，采用比例電磁鐵作為電機械轉換器；同時，它又采用伺服閥的加工工藝、零遮蓋閥口，其閥心與閥套之間的配合精度與伺服閥相當，無零位死區，頻率響應比一般比例閥高，而可靠性高于一般伺服閥。電液比例伺服方向閥對油液的清潔度要求低于電液伺服閥，而它的控制性能已與普通電液伺服閥相當，特別適用于各種工業領域的閉環控制系統。值得指出的是，電液伺服比例閥還有一個普通伺服閥不易實現的附加特性。當閥的電源失效，電磁鐵失電時，由于彈簧的作用，能使閥心處于一個確定的位置，從而使其4個通口具有固定的通斷形式。

隨著伺服比例技術的不斷發展和創新，以及和電子、計算機技術的緊密結合，伺服比例閥已可以和伺服閥相媲美，同時由于其具有傳統比例閥可靠、耐用、使用維護成本低的優點，必將使伺服技術在工業領域的廣泛使用成為現實，也將紿用戶帶來明顯的經濟效益。